
“‘我們搞晶體的,一輩子都在磨。磨的是晶體,也是心性?!袊?guó)晶體材料領(lǐng)域開拓者蔣民華院士的這句話,我們終生難忘?!本w材料全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任,山東大學(xué)新一代半導(dǎo)體材料集成攻關(guān)大平臺(tái)主任徐現(xiàn)剛說。
近日,2026年度中國(guó)青年五四獎(jiǎng)?wù)录w名單揭曉,山東大學(xué)新一代半導(dǎo)體材料集成攻關(guān)團(tuán)隊(duì)赫然在列。面對(duì)這份沉甸甸的榮譽(yù),徐現(xiàn)剛感慨萬千。這份榮耀不僅屬于157名成員,更是對(duì)那些常年守在兩千度高溫生長(zhǎng)爐前、把青春真真切切“長(zhǎng)”進(jìn)碳化硅晶體里的年輕人們的最高致敬。
將時(shí)間的指針撥回至2000年,國(guó)際上碳化硅研究已經(jīng)起步多年,美國(guó)將其列為戰(zhàn)略物資對(duì)我國(guó)禁運(yùn),國(guó)內(nèi)在這個(gè)領(lǐng)域則是“無人才、無設(shè)備、無技術(shù)”的一片空白。中國(guó)科學(xué)院院士,山東大學(xué)晶體材料研究所所長(zhǎng)蔣民華先生高瞻遠(yuǎn)矚,讓徐現(xiàn)剛接下這個(gè)“硬骨頭”。
開局即是決戰(zhàn)。團(tuán)隊(duì)面臨的挑戰(zhàn)堪稱地獄級(jí):“長(zhǎng)不出、長(zhǎng)不好、難加工”——碳化硅需要在兩千多度的高溫下孕育,稍有不慎晶型就會(huì)“跑偏”;即便長(zhǎng)出,極高的缺陷密度也讓晶體形同廢鐵;而它那僅次于金剛石的莫氏硬度,更是讓后續(xù)加工難如登天。
為了跨過這三座大山,一群平均年齡不到32歲的年輕人扛起了大旗。現(xiàn)任實(shí)驗(yàn)室副主任陳秀芳教授,曾通宵準(zhǔn)備核高基專項(xiàng)材料,高達(dá)一兩米的資料堆就是她攻城略地的戰(zhàn)壕;楊祥龍教授一年中有200多天駐扎在產(chǎn)業(yè)基地,分秒必爭(zhēng);更有的博士生為了盯緊一組剛穩(wěn)住的爐子參數(shù),毅然退掉春運(yùn)車票,在示波器跳動(dòng)的波形中度過除夕。
長(zhǎng)達(dá)二十多年的攻堅(jiān)戰(zhàn)中,他們把實(shí)驗(yàn)室當(dāng)成了家,上千次實(shí)驗(yàn),每一次都詳細(xì)記錄,2003年至今的記錄單裝滿了整整一柜子。終于,在2014年4月15日,團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)了“從0到1”的突破,實(shí)驗(yàn)記錄上第一次寫上了“成功”——這一天,他們首次掌握了國(guó)內(nèi)高純半絕緣襯底技術(shù)。
這群“不信邪、不怕苦”的年輕人不滿足于此,十?dāng)?shù)年如一日,又首創(chuàng)“能級(jí)補(bǔ)償和位錯(cuò)復(fù)合”技術(shù),將微管、螺位錯(cuò)密度從每平方厘米數(shù)百個(gè)降至接近零。在連續(xù)兩個(gè)核高基重大專項(xiàng)的支持下,先后突破了2英寸、4英寸、6英寸、8英寸,直到12英寸。他們的成果讓國(guó)之重器擁有了真正的“中國(guó)芯”——搭載該材料的相控陣?yán)走_(dá),探測(cè)距離飆升3倍,實(shí)現(xiàn)了“先敵發(fā)現(xiàn)、先敵制勝”。不僅如此,團(tuán)隊(duì)還孵化出了南砂晶圓等領(lǐng)軍企業(yè),在行業(yè)內(nèi)深深烙下了不可替代的“山大基因”。
(大眾新聞?dòng)浾?劉宸)