3 年“長了”4 英寸 全國第 5 個

德州躋身“能生產(chǎn)12英寸大硅片的城市”

德州新聞網(wǎng)訊（記者 王志強 李榕 通訊員 韓哲）3年“長了”4英寸，德州成為全國第5個能生產(chǎn)12英寸大硅片的城市。1月14日，參加市政協(xié)十五屆三次會議的市政協(xié)委員、山東有研半導(dǎo)體材料有限公司常務(wù)副總經(jīng)理劉斌表示，有研項目落戶德州以來，8英寸硅片項目穩(wěn)健經(jīng)營，12英寸硅片和高純?yōu)R射靶材項目相繼投產(chǎn)，德州已成為國內(nèi)生產(chǎn)集成電路關(guān)鍵材料的重要基地。他建議，德州可依托現(xiàn)有龍頭企業(yè)，補鏈強鏈，讓集成電路關(guān)鍵材料“山東造”走向全球。

有研在德州的快速發(fā)展，是德州新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的一個縮影。2018年，有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?；仨椖柯鋺舻轮?，2019年，12英寸硅片產(chǎn)業(yè)化項目落戶德州。2020年10月，8英寸集成電路用硅片項目通線量產(chǎn)；3年后，12英寸集成電路用大硅片生產(chǎn)線通線。

位于天衢新區(qū)的山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司無塵車間內(nèi)，單晶硅棒被切割成1毫米厚的硅片，經(jīng)過倒角、研磨、拋光等40余道工序后，準備出廠。談起硅片，山東有研艾斯總經(jīng)理閆志瑞滿臉自豪：“我們是山東省內(nèi)唯一生產(chǎn)12英寸大硅片的企業(yè)，生產(chǎn)線一期總投資25億元，目前月產(chǎn)能為10萬片，技術(shù)水平國內(nèi)領(lǐng)先?！?/p>

“從8英寸躍升到12英寸，不僅僅是個頭的變化。”閆志瑞直言，硅片直徑越大，對硅片生產(chǎn)的技術(shù)、工藝、設(shè)備、原材料等要求就越高。山東有研艾斯攻克了單晶微缺陷、硅片平整度、表面沾污等關(guān)鍵技術(shù)難題，目前12英寸大硅片已在國內(nèi)外多家知名集成電路制造企業(yè)開展產(chǎn)品驗證。

硅片“長個”的背后，是德州良好的營商環(huán)境。德州把新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)作為“一號產(chǎn)業(yè)鏈”，市委主要負責(zé)同志任產(chǎn)業(yè)鏈鏈長，在產(chǎn)業(yè)鏈推進機制下，產(chǎn)業(yè)服務(wù)不斷優(yōu)化，企業(yè)涉及的用水用電、日常經(jīng)營、人才安置等問題都得到高效解決。 

好環(huán)境“拉流量”，有研項目接二連三落戶。2018年以來，中國有研科技集團在德州投資近百億元，落地7個大項目，涉及大尺寸硅片、高純?yōu)R射靶材、刻蝕設(shè)備用硅材料等領(lǐng)域，德州成為該企業(yè)在全國投資布局規(guī)模最大、業(yè)務(wù)領(lǐng)域最廣的科技成果轉(zhuǎn)化基地。

硅片“長個”的同時，也拉長了產(chǎn)業(yè)鏈。

近年來，德州新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛。一批高端優(yōu)質(zhì)項目先后落子布局，全市新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)現(xiàn)有規(guī)上企業(yè)123家，初步形成了硅材料、芯片設(shè)計、封裝測試、終端應(yīng)用等較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈，去年實現(xiàn)主營業(yè)務(wù)收入300億余元。