■歷時(shí)3年研發(fā)

■年產(chǎn)能120萬(wàn)片

車間內(nèi)，工作人員在點(diǎn)檢脫膠清洗后的硅片。記者劉振興孫耕攝

德州新聞網(wǎng)訊（記者李榕劉瀟通訊員韓哲）10月16日，山東有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目在天衢新區(qū)實(shí)現(xiàn)通線，這是全省首條12英寸集成電路用大硅片生產(chǎn)線，標(biāo)志著山東在完善集成電路產(chǎn)業(yè)鏈上邁出了關(guān)鍵一步。項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后將形成每年120萬(wàn)片的生產(chǎn)規(guī)模。

10月16日，在山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司的無(wú)塵車間內(nèi)，經(jīng)過(guò)單晶拉制、滾磨截?cái)唷⒕€切割等數(shù)十道工序，一片片12英寸大硅片成功下線。

硅片即“晶圓”，是制造芯片的關(guān)鍵材料，相當(dāng)于芯片的“地基”。12英寸硅片的面積是8英寸的2.25倍，可使用率是8英寸的2.5倍左右，隨著集成電路制程和工藝的發(fā)展，硅片趨向大尺寸化，12英寸硅片為當(dāng)前及未來(lái)較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)的主流產(chǎn)品。

“我們是山東省內(nèi)唯一一家生產(chǎn)12英寸大硅片的企業(yè)，目前可實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)能10萬(wàn)片。最終硅片出廠時(shí)最高與最低的平整度誤差不能超過(guò)0.1微米。”山東有研艾斯總經(jīng)理閆志瑞介紹，硅片直徑越大，封裝出的芯片越多，單個(gè)芯片制造成本越低。但同時(shí)對(duì)材料和技術(shù)的要求越高，制造難度也越大。其中，單晶工藝是最核心的技術(shù)，決定了硅片尺寸、電阻率、純度等晶體缺陷。歷經(jīng)3年技術(shù)研發(fā)，山東有研艾斯攻克了單晶微缺陷、硅片幾何尺寸、硅片表面沾污等關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)，目前已在國(guó)內(nèi)外多家知名集成電路制造企業(yè)開(kāi)展產(chǎn)品驗(yàn)證。

據(jù)悉，該項(xiàng)目是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料龍頭企業(yè)中國(guó)有研參股布局的重點(diǎn)項(xiàng)目之一，一期投資25億元，達(dá)產(chǎn)后將徹底改變我國(guó)依賴進(jìn)口的局面。

2018年以來(lái)，中國(guó)有研在德州投資近百億元，落地7個(gè)項(xiàng)目，已投產(chǎn)4個(gè)，德州成為有研在全國(guó)投資布局規(guī)模最大、業(yè)務(wù)領(lǐng)域最廣的科技成果轉(zhuǎn)化基地。天衢新區(qū)依托中國(guó)有研“集成電路關(guān)鍵材料國(guó)家工程研究中心”，打造中國(guó)集成電路關(guān)鍵材料（德州）基地，將成為北方最大的集成電路用大硅片生產(chǎn)基地。

企業(yè)投資持續(xù)“加碼”，中國(guó)有研科技集團(tuán)有限公司黨委委員、副總經(jīng)理周旗鋼信心十足，“投資項(xiàng)目進(jìn)展順利、運(yùn)行正常，事實(shí)證明當(dāng)初選擇德州是正確的?！彼硎荆轮輰⒂醒凶鳛殒溨髌髽I(yè)重點(diǎn)培育，精心建設(shè)專業(yè)園區(qū)，形成了較為完善的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)，有研也將充分發(fā)揮頭部效應(yīng)，集聚更多上下游企業(yè)落戶德州。

近5年來(lái)，德州半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值年均增長(zhǎng)近20%。山東有研入選省級(jí)“雁陣形”產(chǎn)業(yè)集群領(lǐng)軍企業(yè)庫(kù)，天衢新區(qū)電子信息（集成電路）入選山東省戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和特色產(chǎn)業(yè)集群，已成為全省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要增長(zhǎng)極，一批高端優(yōu)質(zhì)項(xiàng)目聚“鏈”成“群”，蓬勃發(fā)展。