山東有研的無(wú)塵車(chē)間
□張海峰賀瑩瑩劉瀟韓哲
11月18日，山東省人民政府發(fā)布關(guān)于表彰第十屆山東省省長(zhǎng)質(zhì)量獎(jiǎng)及提名獎(jiǎng)獲獎(jiǎng)單位和個(gè)人的通報(bào)，山東有研半導(dǎo)體材料有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)山東有研）總經(jīng)理、正高級(jí)工程師張果虎榮獲本屆省長(zhǎng)質(zhì)量獎(jiǎng)?！斑@份榮譽(yù)既是對(duì)個(gè)人工作的肯定，更是對(duì)企業(yè)質(zhì)量管理體系的認(rèn)可?！睆埞⒈硎尽?/p>
集成電路是信息產(chǎn)業(yè)的核心，德州市主動(dòng)融入京津冀協(xié)同發(fā)展戰(zhàn)略，先后引進(jìn)了集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?；a(chǎn)項(xiàng)目、12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、集成電路刻蝕設(shè)備用硅材料項(xiàng)目硅片等重點(diǎn)項(xiàng)目，形成了包含設(shè)計(jì)、材料、封裝、測(cè)試在內(nèi)的集成電路產(chǎn)業(yè)微集群，其中“有研系”已在德州建設(shè)了七大項(xiàng)目。前不久，世界集成電路協(xié)會(huì)發(fā)布《2025年全球集成電路產(chǎn)業(yè)綜合競(jìng)爭(zhēng)力百?gòu)?qiáng)城市白皮書(shū)》，山東省共有濟(jì)南、青島和德州等3個(gè)城市入選，德州列第99位。
作為“有研系”落地德州的首個(gè)項(xiàng)目，山東有研半導(dǎo)體6—8英寸硅片項(xiàng)目如今已實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)50萬(wàn)片的穩(wěn)定產(chǎn)能。談及項(xiàng)目在行業(yè)內(nèi)保持領(lǐng)先的秘訣，張果虎直言，這離不開(kāi)企業(yè)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的極致追求。“一片硅材料的生產(chǎn)要經(jīng)過(guò)十幾道工序，每一道工序我們都制定了嚴(yán)格的企業(yè)內(nèi)控標(biāo)準(zhǔn)。硅片作為高純度材料，核心要求就是‘平、純、潔’，我們?cè)缫寻选|(zhì)量控制’深度融入工藝DNA之中。”張果虎介紹。產(chǎn)品平整度達(dá)到納米級(jí)，相當(dāng)于讓3萬(wàn)個(gè)晶體管“整齊入住”同一層樓，每片硅片都擁有專(zhuān)屬“電子身份證”，上百個(gè)工藝參數(shù)實(shí)時(shí)上傳系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品片片可追溯，甚至能精準(zhǔn)定位到單晶原位置。不僅如此，企業(yè)還創(chuàng)新應(yīng)用CPDAS單晶大數(shù)據(jù)平臺(tái)、硅片形貌分析系統(tǒng)、缺陷密度AI判讀系統(tǒng)這三大智能制造“法寶”，用智慧手段為產(chǎn)品質(zhì)量筑起堅(jiān)實(shí)防線。
回憶起5年前8英寸硅片項(xiàng)目通線量產(chǎn)時(shí)的場(chǎng)景，張果虎仍記憶猶新：“當(dāng)時(shí)有人問(wèn)我，項(xiàng)目面臨的最大挑戰(zhàn)是什么？ 我回答，是如何在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中以高質(zhì)量站穩(wěn)腳跟。如今我們能在行業(yè)內(nèi)保持優(yōu)勢(shì)，正是因?yàn)槭冀K嚴(yán)守質(zhì)量管控標(biāo)準(zhǔn)。產(chǎn)能可以復(fù)制，但科技創(chuàng)新與產(chǎn)品質(zhì)量，才是企業(yè)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展的關(guān)鍵?！?/p>
質(zhì)量的堅(jiān)守離不開(kāi)全員參與的文化根基。山東有研多年來(lái)堅(jiān)持每月召開(kāi)質(zhì)量分析會(huì)、開(kāi)展全員質(zhì)量培訓(xùn)與月度質(zhì)量員工評(píng)選，通過(guò)競(jìng)賽、評(píng)比等多元化形式，讓“質(zhì)量無(wú)小事”的理念深入人心。對(duì)質(zhì)量的堅(jiān)守，讓山東有研贏得了市場(chǎng)與客戶的廣泛認(rèn)可，生產(chǎn)線常年保持滿產(chǎn)狀態(tài)。公司常務(wù)副總經(jīng)理劉斌分享了一個(gè)案例：“此前，山東省的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展相較于珠三角、長(zhǎng)三角地區(qū)存在一定差距。一知名車(chē)企在山東建廠，提出每月3萬(wàn)片硅片的需求——這些硅片將用于新能源核心芯片，對(duì)質(zhì)量要求極高。而我們第二次送樣就成功達(dá)標(biāo)，并且從那時(shí)起一直為該車(chē)企供應(yīng)至今?！?/p>
如今，山東有研生產(chǎn)的硅片有100多種，廣泛應(yīng)用于各類(lèi)芯片產(chǎn)品，背后是企業(yè)對(duì)新產(chǎn)品研發(fā)與技術(shù)迭代的持續(xù)投入。近期，在特色化硅片產(chǎn)品領(lǐng)域，企業(yè)再傳捷報(bào)：超低阻硅片已實(shí)現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)，市場(chǎng)反響良好；8英寸區(qū)熔硅片、超低氧硅片及多晶硅鑄錠等新產(chǎn)品的客戶認(rèn)證進(jìn)程正在加速推進(jìn)，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的多樣性與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力不斷提升。此外，企業(yè)還聯(lián)合上游供應(yīng)商搭建連續(xù)拉晶生長(zhǎng)平臺(tái)，聚焦關(guān)鍵原材料、設(shè)備與工藝研發(fā)，為未來(lái)單晶連續(xù)生長(zhǎng)技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化布局奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
目前硅片正朝著大尺寸化、制程精細(xì)化方向邁進(jìn)，但山東有研并未止步于硅片制造，而是將目光投向半導(dǎo)體核心零部件生產(chǎn)領(lǐng)域，逐步向產(chǎn)業(yè)鏈下游延伸，持續(xù)完善產(chǎn)業(yè)布局?！绊?xiàng)目落地德州以來(lái)，發(fā)展速度和投資進(jìn)度遠(yuǎn)超當(dāng)初預(yù)期，這離不開(kāi)當(dāng)?shù)卣疇I(yíng)造的優(yōu)質(zhì)營(yíng)商環(huán)境?！睆埞⒏锌溃白畛鯊谋本﹣?lái)到德州的200余名核心技術(shù)人員，沒(méi)有一人離開(kāi)，如今我們都成了‘新德州人’。近些年，山東省對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)高度重視，出臺(tái)了一系列扶持政策，已在全國(guó)乃至全世界的產(chǎn)業(yè)版圖和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中占據(jù)了一席之地。我們也期待著，‘十五五’時(shí)期，山東的集成電路產(chǎn)業(yè)能實(shí)現(xiàn)跨越式發(fā)展，再上一個(gè)大臺(tái)階?！?/p>